ОГНЕУПОРЫ

СПЕЦИАЛЬНЫЕ ГРАФИТЫ

ПРОДУКТЫ ИЗ СПЛАВОВ МЕДИ

СИСТЕМА ОТСЕКАНИЯ ШЛАКА


ПОРОШКОВАЯ ПРОВОЛОКА




Графиты для полупроводниковой промышленности

Применение

Марка графита

CZ метод для вытягивания Si кристаллов

Нагреватели

Тигли

Нагревательные щиты и другие компоненты

 

 

G330S

G458S

 

G330S, G347S

Лодочки зонной очистки

Чувствительные детали для эпитаксии

Компоненты для плазмы CVD

Другие компоненты для обработки полупроводниковых пластин

G347, G530, G535

G530S, G535S

SiC coated graphite

G347S, G530S, G535S

G347S,G530S, G535S


Примечание:

Код, указанный после марки графита указывает на различный уровень очистки графита
e.g. G347 (Стандартный уровень зольности) G347S (содержание золы 20ppm max)



Марка графита

Плотность, г/см3

УЭС, mWм

Модуль Юнга,

кгс/мм2

Прочность на изгиб,

кгс/см2

Твердость по Шору

КТР, x10-6/ °С

Теплопроводность, Вт/мК

Размеры графитовых блоков, мм

G330

1.79

13.0

1000

400

56

4.8

104

311x622x1245

311x622x2146

D405x730

D460x700

D500x790

D550x675

D610x640

G347

1.85

11.0

1100

500

58

5.5

116

234x649x800

311x622x1245

270x1200x1200

D340x920

D380x1060

D460x700

D515x800

D560x680

D610x640

G348

1.92

10.0

1255

650

68

5.5

128

165x398x1900

175x690x800

250x390x960

G530

1.82

13.0

1150

630

64

5.5

104

217x597x742

235x467x1245

G535

1.82

17.0

1100

650

72

5.5

81

230x455x1245



Предназначение

ppm

Cтандарт

300 (обычно)

Очищенный (тип S)

20 (max)

Сверх-очищенный (тип SS)

5 (max)